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        硬質(zhì)合金刀具涂層方法之一是化學(xué)氣相沉積技術(shù)，化學(xué)氣相沉積英文名為：chemical vapor deposition，簡稱CVD，是通過化學(xué)反映的方式，利用加熱、等離子激勵(lì)或光輻射等各種能源，在反映器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣-固界面上經(jīng)化學(xué)反映形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。

        其古老原始形態(tài)可以追溯到古人類在取暖或燒烤時(shí)熏在巖洞或巖石上的黑色碳層，作為現(xiàn)代化學(xué)氣相沉積技術(shù)發(fā)展的開始階段在20世紀(jì)50年代主要著重于硬質(zhì)合金刀具涂層的應(yīng)用。從20世紀(jì)60-70年代以來由于半導(dǎo)體和集成電路技術(shù)發(fā)展和生產(chǎn)的需要，CVD技術(shù)得到了更迅速和更廣泛的發(fā)展。

        進(jìn)行化學(xué)氣相沉積需要具備以下條件：

        一是足夠高的溫度?；旌蠚怏w中某種成分分解并與基體表面相互作用形成化合物吸收一定的能量，也就是說，進(jìn)行上述過程必須有一定的激活能，該激活能必須由加熱基體表面獲得，因而需要足夠高的溫度。通常CVD的反映溫度在900℃~2000℃，它取決于沉積物的特性。

        二是要有混合氣體參加?；旌蠚怏w主要是惰性氣體(如Ar氬)，還原氣體(如H₂)和反應(yīng)氣體(如N₂、CH₄、CO₂、NH₃、水蒸氣等)。有時(shí)采用高飽和蒸氣壓的液體，把它們加熱到一定溫度(<60℃)，通過載體氫、氬與起泡的液體，從供氣系統(tǒng)中把上述蒸氣帶入沉積反映室。

        化學(xué)氣相沉積是建立在化學(xué)反應(yīng)基礎(chǔ)上通過一個(gè)或者多個(gè)化學(xué)反映實(shí)現(xiàn)的沉積，所以要制備特定性能材料首先要選定一個(gè)合理的沉積反應(yīng)。常用的化學(xué)氣相沉積技術(shù)通常有4種反映類型：

        1.熱分解反應(yīng)沉積

        2.氧化反應(yīng)沉積

        3.還原反應(yīng)沉積

        4.水解反應(yīng)

        20世紀(jì)60年代以來，CVD技術(shù)廣泛用于硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)位刀具的表面處理，1968年，瑞典山特維克向市場(chǎng)推出第一批化學(xué)氣相沉積TiC涂層硬質(zhì)合金刀片。此后，美國、日本等國也相繼生產(chǎn)同類產(chǎn)品。多年來，化學(xué)氣相沉積CVD涂層技術(shù)不斷改進(jìn)，從最初只制備單一成分涂層發(fā)展到多元多曾符合涂層的制備技術(shù)，20世紀(jì)80年代中后期，美國已經(jīng)85%的硬質(zhì)合金刀具工具采用表面涂層處理，其中CVD涂層占大到99%，目前，CVD涂層硬質(zhì)合金刀片在涂層硬質(zhì)合金刀具中占到了80%左右的分額。

        硬質(zhì)合金刀具涂層技術(shù)的發(fā)展使硬質(zhì)合金刀具的使用壽命成倍的提高，也是社會(huì)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展的使用要求。

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